合成石英ガラスをベースに製造しているため、さまざまな形状に容易に加工することが可能です。熱膨張の影響を極限まで抑える必要のある最先端アプリケーションに最適な、超高純度合成石英ガラス製造技術を応用して開発された極低熱膨張ガラスです。

使用用途

  • 露光機用ステージなど

旭硝子のゼロ膨張ガラス AZは、旭硝子が持つ、超高純度合成石英ガラス製造技術を応用して開発された、極低熱膨張ガラスです。 合成石英ガラスをベースに製造しているため、合成石英ガラスと同様に、様々な形状に容易に加工することが出来ます。 また、精密研磨加工により低欠陥を保証して出荷することも可能です。 熱物性測定用標準、光共振器スペーサ、露光機用ステージなど、熱膨張の影響を極減まで抑える必要のある最先端アプリケーションに最適です。

熱膨張係数の温度依存性

代表的特性

Grade AZ
熱的性質 熱膨張係数 ppb/K at 22℃ <10 <5
熱伝導率 K(W/m-℃) at 25℃ 1.38
比熱 J/kg/K at 25℃ 75
光学的性質 屈折率 at 589nm 1.48
機械的性質 比重 g/c 2.20
ヤング率 GPa 68
ポアソン比 u 0.17
ヌープ硬度 kg/m 480
電気的性質 体積抵抗率 Log(Ω*cm) at 200℃ 13.2
誘電率 at 1MHz, 25℃ 4
化学的性質 化学耐性 耐酸性 <0.05μg/c
耐アルカリ性 <65μg/c
  • データは参考値であり、保証値ではありません。

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