従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5~1/6以下に抑制し、半導体露光装置などに用いられる高強度なレーザーに対する耐光性を大幅に改善しました。偏光解消板や波長板のような偏光光学素子、回折光学素子、プリズムの材料として最適な人工水晶材料です。

使用用途

  • プリズムの材料など

東京電波株式会社様の高品質人工水晶の製造技術と、旭硝子の研磨加工技術・レーザー耐性評価技術を持ち寄って開発致しました。従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5以下に抑えております。

透過率

代表的特性

Grade CQ
内部欠陥 IEC758/JIS C 6704 Ⅰb
熱膨張係数 (30-100℃) Z軸 8ppm/K
X軸 14ppm/K
屈折率 at 589nm 1.54
レーザー耐久性 感光変化 なし
透過率劣化 /pls x 0.18Mpls <0.3%/cm
比重 g/c 2.65
熱伝導率 (200℃) K(W/m-℃)
Z軸
6.6
K(W/m-℃)
X軸
4.1
  • データは参考値であり、保証値ではありません。

ArFレーザー耐久性

通常人工水晶とCQにおける、ArFレーザー照射による吸収係数@193nmの変化の比較

ArFレーザー照射後の吸収係数曲線の比較

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